東京電機大学 · 先端科学技術研究科 · 教授

研究キーワードMEMS・計測・積層・一列・Optics・Paraboloid・電気電子・機械・材料工学・正方形断面光

ここは公開データのプレビューです。個別の適合理由、連絡角度、保存機能はログイン後に利用できます。

• スペックル光を利用したリソグラフィ技術による厚膜レジストへのパターン形成の基礎検討
• スペックル光を利用した光リソグラフィ技術による微細点状パターン形成の基礎検討
• 高強度発光ダイオードと 125μm 角光ファイバアレイを用いた投影露光リソグラフィの基礎検討
• 屈折率分布型レンズアレイを用いた厚膜レジストへの走査投影露光の基礎検討

• リソグラフィ用立体面投影露光技術の研究

• 公式プロフィール