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研究キーワード超精密加工・超精密計測・光学エンコーダ・レーザ干渉

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• Development of an optical linear encoder with a function of calibrating scale pitch deviation2026 · CIRP Annals, Elsevier BV, 2026年04月,
• Design and development of a palm-sized optical head for on-machine calibration of diffraction scale gratings2026 · Nanomanufacturing and Metrology, 2026年,
• Laser interference lithography with a spatial light modulator2026 · Procedia CIRP, 2026年,
• High-Precision Measurement of Absolute Grating Pitch Using Laser Autocollimation and Diffraction2025 · Proceedings of the 16th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2025), 2025年05月,

• マイクロ熱検知素子と格子パターン融合による熱収支検出型高精度変位計測の新原理創出
• 熱検知接触型センサによるウェハ表面欠陥の高感度検出技術に関する研究
• バイオオプティクス形状計測のための静電気力遠接場ナノスコープに関する研究
• 超高精度光ナノグリッド基準と光絶対スケールコムの創出が拓く精密光計測フロンティア

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