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研究キーワード光計測・角度計測・フェムト秒レーザ

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• Design and Development of a Palm-Sized Optical Head for On-Machine Calibration of Diffraction Scale Gratings2026 · Nanomanufacturing and Metrology, 2026年12月
• A Flexible Differential Angle Sensor for Calibration of Linear Scale Gratings with Different Pitches2026 · International Journal of Automation Technology, 2026年03月05日
• Wide-range absolute angle measurement based on a broadband solid etalon fringe using a mode-locked femtosecond laser2025 · Precision Engineering, 95, 484, 494, Elsevier BV, 2025年08月,
• On-Machine Calibration of Pitch Deviations of a Linear Scale Grating by Using a Differential Angle Sensor2024 · International Journal of Automation Technology, 18, 1, 4, 10, Fuji Technology Press Ltd., 2024年01月05日,

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