九州大学 · 総合理工学府・総合理工学研究院 · 准教授

研究キーワード放電プラズマ・EUV光源・レーザー計測・環境触媒・排気ガス浄化

研究分野プラズマ応用科学・プラズマ科学・環境影響評価・環境政策、環境配慮型社会・電力工学・電気電子材料工学

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• Plasma Dynamics and Future of LPP-EUV Source for Semiconductor Manufacturing2023 · Proceedings of the 2023 Source Workshop (Aachen, Germany, October 21-25, 2023) 2023年10月

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