日本大学 · 生産工学部 · 教授

研究キーワード半導体材料プロセス・表面分析・ナノ炭素材料・プラズマプロセス

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• Improved robustness of sequentially deposited potassium cesium antimonide photocathodes achieved by increasing the potassium content towards theoretical stoichiometry2025 · Scientific Reports, 2025年01月, 査読有り, 通常論文
• Nacre-like MXene/Polyacrylic Acid Layer-by-Layer Multilayers as Hydrogen Gas Barriers2025 · ACS Applied Materials & Interfaces, 2025年05月, 査読有り, 通常論文
• Bayesian estimation analysis of X-ray photoelectron Spectra: Application to Si 2p spectrum analysis of oxidized silicon surfaces2025 · Applied Surface Science, 2025年03月, 査読有り, 通常論文
• Effect of potassium doping on the electrical properties of stacked graphene layers2025 · Japanese Journal of Applied Physics, 2025年07月, 査読有り, 通常論文

• 省エネルギーと演算性能が両立した集積回路層間絶縁膜用DLC成膜手法の開発2024
• シビアアクシデント回避に向けた二次元材料を活用した燃料被覆管の腐食抑制の研究2024
• 材料歪み制御によるメカノケミカル効果の触媒応用2023
• SiCパワーMOSFETの高効率化に向けたゲート絶縁膜形成プロセスの検証2023

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