Public Professor Archive
大阪大学 · エマージングサイエンスデザインR3センター · 特任教授
研究キーワード大気圧プラズマジェット・プラズマエッチング・プラズマALD・シリコン窒化膜・単層グラフェン欠陥・プラズマ材料相互作用・光発光スペクトル機械学習・PEEK表面改質
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