大阪大学 · 工学部 / 工学研究科 · 教授

研究キーワードSiO2/SiC interface・SiC MOSFET・GaN MOS structure・beta-Ga2O3 MOS structure・single-photon emitter・deep-level transient spectroscopy・hole trap・high-temperature oxidation anneal

研究分野薄膜・表面界面物性・量子ビーム科学・電子・電気材料工学・工学・応用物理学・応用物理学・工学基礎・機械工学・理工系

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• Deep-level-transient-spectroscopy study on electron traps near GaN surface generated by sputter deposition of SiO 22026 · Japanese Journal of Applied Physics Vol. 65 No. 7 p. 070905-070905 2026年4月16日 研究論文（学術雑誌）
• Optical mode competition in tensile-strained Ge microdisks fabricated by laser-induced liquid-phase crystallization2026 · Japanese Journal of Applied Physics Vol. 65 No. 2 p. 02SP12-1-02SP12-7 2026年1月27日 研究論文（学術雑誌）
• GaOx interlayer-originated hole traps in SiO2/p-GaN MOS structures and their suppression by low-temperature gate dielectric deposition2025 · Applied Physics Letters Vol. 126 No. 2 p. 022113-1-022113-6 2025年1月13日 研究論文（学術雑誌）
• Backscattering X-ray imaging using a caustic network aperture2025 · Japanese Journal of Applied Physics Vol. 64 No. 12 p. 126506-1-126506-5 2025年12月15日 研究論文（学術雑誌）

• 原子制御プロセスによる超薄MOS構造の作製とその伝導特性および界面物性の解析
• 相界面反応制御技術を基軸とした混晶材料の設計と新機能発現
• 機能性基板/生体超分子界面反応メカニズムの解明とその制御技術の研究
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