立命館大学 · 理工学部 / 理工学研究科 · 教授

研究キーワードMEMS，マイクロマシン、薄膜の機械的特性、単結晶シリコン、信頼性評価

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• Materials: Silicon and Beyond │ Sensors and Actuators A: Physical │ 296,340-3512019
• Temperature effects on fracture behavior of notched silicon film specimen
• Influence of sub-micrometer notches on the fracture of single crystal silicon thin films
• Non-photolithographic pattern transfer for fabricating pen-shaped microneedle structures

• 研究支援制度分類：研究成果国際発信プログラム 種目：- MEMSとその応用分野における国際連携持続強化に向けた研究交流と成果発信2020
• 研究支援制度分類：研究推進プログラム 種目：科研費獲得推進型 多孔磁石レンズシステムによる2次元電子ビームアレイの開発2019
• 研究支援制度分類：研究推進プログラム 種目：科研費獲得推進型 半導体自立膜の電気機械特性とひずみ制御によるバンドギャップ制御2019
• 研究支援制度分類：研究推進プログラム 種目：科研費獲得推進型 高アスペクト比多孔磁石による収束電子ビームアレイの形成2018

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