琉球大学 · 工学部 · 助教

研究キーワード酸化物セラミックス材料・電気・電子材料・分析・評価

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• 低誘電率（Low-k)熱酸化陽極化成Siの作製と誘電特性の評価2011 · 曽根川富博 上原和浩 前濱剛廣
• Thin-Film Deposition of (BaxSr1-x)TiO3 by Pulsed Ion Beam Evaporation2001 · T.Sonegawa et al.
• Ferroelectric thin films prepared by Backside Pulsed Ion-Beam Evaporation2001 · T.Sonegawa et al.
• 背面堆積パルスイオンビーム蒸着法で作製された強誘電体材料薄膜の組成分析2000 · 曽根川富博 他

• パルスイオンビーム蒸着法によるジルコン酸チタン酸鉛薄膜の作製と組成・特性の評価2000 · 奨励研究(A)
• 強誘電体セラミックスの作製
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• 強誘電体薄膜の作製

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