佐賀大学 · 理工学部 / 理工学研究科 · 教授

研究キーワードplasma CVD・プラズマＣＶＤ・B-C-N薄膜・炭窒化物薄膜・スプレー燃焼フレーム法

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• プラズマCVDによるセラミックス薄膜の合成2009
• プラズマＣＶＤによるＢ－Ｃ－Ｎハイブリッド膜の調製2009
• Preparation of Ceramic Films by Plasma CVD2009

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