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公立諏訪東京理科大学 · 工学部機械電気工学科
公立諏訪東京理科大学 · 工学部機械電気工学科
研究キーワード薄い膜を如何に上手に作るかがポイントです。・それらを実現するためには材料の選択もとても重要な研究課題の一つです。・・新奇機能性薄膜材料の探索・究極の目標は机の上で適当に（いい加減に作っても）薄膜を作れるようにすることです。・物理的・化学的な視点から物質・現象をじっくりと見つめることで、次世代電子デバイスの形成に適した材料と薄膜形成手法を提案することを目指しています。・特に機能性薄膜の材料選択と形成法について研究を進めています。・大掛かりな装置を使って未来の超高品質電子デバイスを作り出すことや、簡単な装置を使って未来の電子デバイスを簡単に作ることを目指して研究をしています。・機能性薄膜 誘電体 半導体 電子デバイス スパッタリング
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