名城大学 · 理工学部 電気電子工学科 · 教授

研究キーワード微細加工・プラズマプロセス・ドライエッチング・電子スピン共鳴・シンクロトロン放射・光干渉計・カーボンナノウォール

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• Micro-machining process of fluorocarbon polymer using synchrotron radiation2004
• Robust characteristics of semiconductor-substrate temperature-measurement method using auto-correlation type frequency-domain low-coherence interferometry
• Systematic diagnostics of the electrical, optical, and physicochemical characteristics of low-temperature atmospheric-pressure helium plasma sources
• Surface Loss Probability of Nitrogen Atom on Stainless-Steel in N2 Plasma Afterglow

• 自己反転インコヒーレント光源を用いた原子状ラジカルの並進エネルギー計測
• 気液プラズマ照射下におけるバイオマテリアル形態変化のその場電子顕微鏡観察
• 定量化されたラジカルによるモデル細胞の反応シグナルパス解析
• 反応性プラズマプロセスにおけるラジカル・イオンの相互表面反応過程の解明

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