東北大学 · 医工学研究科 · 教授

研究キーワード自己組織化／誘導自己組織化・機能性高分子・半導体パッケージング・人工感覚デバイス・三次元集積回路技術・マイクロ・ナノ加工・フレキシブルデバイス・Optoelectronics

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• High-thermal-stability resistor formed from manganese nitride compound that exhibits the saturation state of the mean free path2021 · Applied Physics Express 14, (2021), 091003 14 (8) 091003 2021年
• Magnetic characteristics of FePt nanodots formed by a self-assembled nanodot deposition methodC. K. Yin, H. Choi, J. C. Bea, M. Murugesan, J. H. Yoo, T. Fukushima, Y. Murakami, T. Tanaka, D. Shindo, M. Miyao, M. Koyanagi
• Development of Versatile Backside Via Technology for 3D System on ChipY. Ohara, K.-W. Lee, T. Fukushima, T. Tanaka, M. Koyanagi
• New three-dimensional integration technology to achieve a super chipMitsumasa Koyanagi, Takafumi Fukushima, Tetsu Tanaka

• インモールド・エレクトロニクス用伸縮配線2021 · 2021年4月 ～ 2022年3月
• チップレット内蔵ウェアラブルマイクロLEDディスプレイの開発2021 · 2021年1月 ～ 2023年3月
• ウエハ検査用微細TSV集積化プローブカードの実用化開発2020 · 2020年10月 ～ 2021年3月
• 三次元集積技術を基盤としたナノプローブカードの試作と事業性検証2019 · 2019年10月 ～ 2020年9月

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