名古屋大学 · 工学部 / 工学研究科 · 准教授

研究キーワードプラズマプロセス・大気圧プラズマ・マイクロ波プラズマ・プラズマ診断

研究分野プラズマ応用科学

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• Angular distribution measurement of high-energy ions and neutrals impinging on an RF electrode in a dual-frequency capacitively-coupled Ar plasma2025 · Plasma Sources Science and Technology 34 巻 ( 5 ) 頁： 055006 2025年5月
• Influence of sheath collisions on the ion angular distributions in a dual-frequency capacitively coupled plasma2025 · Japanese Journal of Applied Physics 64 巻 ( 9 ) 頁： 096002 2025年9月
• Measurement of energy-resolved ion angular distribution in a dual-frequency capacitively coupled argon plasma2025 · JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 64 巻 ( 5 ) 2025年5月
• Evaluation of the spatial structure of multiline emission in a capacitively coupled plasma using tomographic reconstruction2024 · Japanese Journal of Applied Physics 63 巻 頁： 056004 2024年5月

• 高周波プロセスプラズマにおいて真空容器壁面の状態がプラズマに与える影響の評価2021 · 研究課題/研究課題番号： 21K13907 2021年4月 - 2023年3月
• ラジカル生成促進のための大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御技術の開発2018 · 研究課題/研究課題番号： 18K13531 2018年4月 - 2021年3月
• 分子ガスを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマによる幅広ラジカル生成とその応用展開2016 · 研究課題/研究課題番号： 16H03893 2016年4月 - 2019年3月
• 大気圧マイクロ波水蒸気プラズマによる高密度かつ高純度活性種の生成と応用2016 · 研究課題/研究課題番号： 16H06859 2016年8月 - 2018年3月

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