千葉工業大学 · 工学部

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• One-dimensional modelling of low-frequency and high-pressure Xe barrier discharges for the design of excimer lamps
• 高周波駆動型非平衡大気圧Heプラズマ基礎特性に及ぼす不純物N2濃度の影響
• Formation of diamond-like carbon film using high-power impulse magnetron sputtering
• Evolution of Hydride Components Generated by Hydrogen Plasma Irradiation of a Si(110) Surface Investigated With In Situ Infrared Absorption Spectroscopy in Multiple Internal Reflection Geometry

• 大気圧プラズマ支援CVDによるナノカーボン材料創製技術の最適化に関する基礎的研究
• 硬質炭素膜の超高速成膜と超低摩擦の両立に向けた学術基盤の構築
• マイクロ領域／マクロ領域における複合的プローブ技術の開発に関する研究
• 大気圧ハイドロカーボンプラズマ支援ＣＶＤによるＤＬＣ成膜技術開発に関する基礎研究

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