Public Professor Archive
中部大学 · 工学研究科/工学部 · 教授
研究关键词多結晶薄膜・結晶化・薄膜プロセス・透明導電膜・アナターゼ・2段階成膜・透明導電体・アモルファス・シード層・スパッタリング
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