岐阜大学 · 工学部 · 特任准教授

研究关键词プラズマCVD・プラズマエッチング・プラズマナノテクノロジー・プラズマプロセス・機能性材料・炭素系薄膜・表面処理・PVD・X線反射率・ダイヤモンドライクカーボン

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• Fabrication of Diamond-Like Carbon Microgears in Roomerature Curing Nanoimprint Lithography Using Ladder-Type Hydrogen Silsesquioxane
• Formation of Nanofibers on the Surface of Diamond-Like Carbon Films by RF Oxygen Plasma Etching
• Diamond-like carbon films from CO source gas by RF plasma CVD method
• Improvement of drilling performance by overcoating diamond-like carbon films on diamond-coated drills for carbon fiber reinforced plastics processing

• がん治療用小型重粒子線源実現のための超高純度炭素薄膜ターゲットの開発
• シングルパルスカーボンイオン照射を用いた新炭素同素体Qカーボン薄膜の創製
• スーパートライボ軸受けを持つ小型フライホイールバッテリの可能性探究
• DLCコート金型を用いたキズフリー曲げ加工製品の開発

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