神奈川工科大学 · 工学部

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• A Simple Technique for Evaluating the Finish of Surface of Through-holes Using Laser Diffraction in the Shadow Region
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• Fabrication of Surface Acoustic Wave-Semiconductor Coupled Devices Using Epitaxial Lift-Off Technology

• 犠牲層エッチングによる異種薄膜材料の接合技術に関する研究
• 対面貼り合わせ構造をもつSAW素子に関する研究
• 高性能弾性波・半導体機能素子の研究
• エピタキシャルリフトオフ技術を用いた超伝導と半導体素子の基礎研究

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