東京理科大学 · 創域理工学研究科/創域理工学部

研究关键词magnetic MEMS・FePt thick films・Nd-Fe-B magnets・laser-assisted magnetization・micro motors・Halbach arrays・micropumps・multipole ring magnets

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• Microlinear Halbach Array of Thick-Film Nd–Fe–B Magnets Utilizing Local Laser Irradiation and a Direction-Changeable External Magnetic Field
• High torque micro slice motor using a multipole ring magnet
• Influence of Permanent Magnetic Properties on Laser-Assisted Heating Magnetization for Magnetic MEMS
• Nd-Fe-B Thick-Film Magnets on Si Substrates With Al-O Underlayers

• 微細多極リングの層間位相スキュー化による高トルク低リップルアキシャルフラックスマイクロフラットモータの開発
• 微細多極リングの位相スキュー化による低リップル精密駆動アキシャルフラックスマイクロフラットモータの開発
• 堆積厚膜磁石とその微細加工・着磁を活用した電磁ＭＥＭＳデバイスの創成

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