東京大学 · 生産技術研究所 · 特任助教

研究关键词精密位置決め機構，流体軸受，リソグラフィ，レジストプロセス，真空・レジスト材料・光硬化性樹脂・高真空対応機構，流体潤滑軸受，

研究领域リソグラフィ，露光，レジスト, 光反応性樹脂・精密工学，位置決め，高真空機構，軸受，イオン液体・設計工学

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• Artificial 3-D Frost Structure Reconstruction by Generative Adversarial Network,
• Frost growth on silver iodide (AgI) stripe patterned surface under condensation frosting condition
• Numerical Investigation of Bearing Characteristics of a Hydrostatic Thrust Bearing with a Flow-Control Restrictor Using a Bending Beam
• Development of Electron Beam Nano-Mastering Equipment using a Vacuum-Compatible Hydrodynamic Spindle

• 直動スライダ用高真空用イオン液体循環ポンプの開発
• 超高真空下における流体軸受内部のイオン液体挙動の解明
• 固体酸化物形セル燃料極実運転環境下のin-operando観察
• イオン液体を用いた超高真空対応流体潤滑軸受のアウトガス発生メカニズムの解明

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