東京大学 · 工学系研究科・工学部 · 教授

研究关键词局在フォトン・インプロセス計測・エバネッセント光・レーザ応用計測・マイクロマシン・マルチフォトンプローブ・光造形・加工計測

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• Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy
• 3D Profile On-machine Measurement Using Optical Ring Image Sensor
• Analysis of Defects on SiO2 filmed wafer -Evaluation of CMP Defect Detection Schemes using Computer simulation (BEM)
• Dansyl fluorescence and local structure of dansyl-labeled core-shell and core-hair type microspheres in solution

• 全方位ナノ修正加工を実現する空間光場姿勢制御フォトン励起型マイクロ加工工具の開発
• 位相共役波を用いた三次元フォトリソグラフィに関する研究
• 局在光場動的制御を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測への挑戦
• 空間局在光場並列制御によるナノ除去加工分解能・新概念光励起加工法の挑戦

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