東北大学 · 工学部 / 工学研究科 · 教授

研究关键词MEMS・CMOS-MEMS集積・触覚センサ・圧電MEMSスキャナ・FBAR発振器・SAW無線センサ・ウエハレベル真空封止・シリコン貫通電極・音響波デバイス・電子線描画システム

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• 超小型ガスタービン発電機田中秀治
• Annealing Transformation of Diamond-Like Carbon Using Ni CatalystJunji Sone, Naoto Shigeta, Katsumi Yamada, Takayuki Uchida, Shinya Yoshida, Takeshi Hayasaka, Shuji Tanaka
• Charging method of micropatterned electrets by contact electrification using mercuryT Genda, S Tanaka, M Esashi
• Study on Integrated Multi-Band RF MEMS Filter for Future Cognitive Radio TerminalTakeshi Matsumura, Masayoshi Esashi, Hiroshi Harada, Shuji Tanaka

• ナノエネルギーシステム創生の研究桑野 博喜, 西澤 松彦, 小野 崇人, 折茂 慎一, 田中 秀治, 長澤 純人, 安部 隆, 岡本 洋, 小貫 哲平, 曹 自平, 濱手 雄一郎, 大口 裕之
• ナノメカニカル・単電子トランジスタによるナノセンシング小野 崇人, 田中 秀治, 戸津 健太郎, 江刺 正喜
• 赤外線センサアレイ応用のためのＺｎＳｅの低温高速堆積技術の研究田中 秀治
• 生産性の高いシリコンのウェット垂直エッチング江刺 正喜, 田中 秀治, 戸津 健太郎

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