山形大学 · 地域教育文化学部

研究关键词EUV multilayer optics・ion milling・reflection phase measurement・ellipsometry・water window microscopy・soft X-ray mirrors

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• 新編 新しい科学3，東京書籍，2024年03月2024 · 西原寛, 永原裕子, 津留俊英 他
• 新編 新しい科学2，東京書籍，2024年03月2024 · 西原寛, 永原裕子, 津留俊英 他
• 新編 新しい科学1，東京書籍，2024年03月2024 · 西原寛, 永原裕子, 津留俊英 他
• 円偏光を用いた波長板の光学特性評価と3次元形状計測，光学，52(5) 197-202，2023年05月2023 · 津留 俊英

• 基盤研究(A)，2024年04月 ～ 2025年03月，10nm解像・極紫外(EUV)顕微鏡を実現するLayer by layerエッチング波面制御法の開発2024
• 基盤研究(C)，2024年04月 ～ 2028年03月，ICT機器を用いた光3次元形状計測システムの構築と理科教育プログラムへの活用2024
• 微小領域の高精度屈折率計測が可能な顕微偏光解析装置の試作，2020年04月 ～ 2021年03月，一般財団法人教友会，その他2020
• 平成30年度文部科学省委託事業 教員の養成・採用・研修の一体的改革推進事業「「理科マイスター」資格認証制度を活用した教員の専門的資質・能力を育成するための教員養成・研修システムの構築」，2018年08月 ～ 2019年03月，一般受託研究2018

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