Chiba Institute of Technology · Faculty of Engineering · 教授

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• RFスパッタリングによる窒化ホウ素膜の作製におけるスパッタガスの影響
• 密着性に優れたダイヤモンド被覆工具によるAl-18mass%Si合金の切削特性
• モード変換型マイクロ波プラズマCVDによる2インチ基板へのダイヤモンド合成
• Preparation of CVD diamond films and their electrochemical properties

• ハロゲン系プラズマに対する高耐食性材料及びその成膜技術に関する研究
• 電気分解用導電性ダイヤモンドを高効率かつ安定品質で供給出来る革新的な成膜プロセス
• 自動車の軽量化・電装化に必要な樹脂へのめっきを実現する環境負荷の低い循環型電解硫酸生成システムの開発
• 高触媒活性を有するカーボン薄膜電極の作製と構造解析に関する研究

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