Fukuoka University · Faculty of Engineering · 教授

Research keywordsplasma processing・hydrogen plasma・silicon surface reactions・infrared spectroscopy・atmospheric-pressure plasma・plasma diagnostics

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• Investigation on Reactions of Hydrogen Plasma with Si surface, using infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS) M. Shinohara; K. Hara; Y. Takami; Y. Takaki; Y. Matsuda; H. Fujiyama Proceedings of IC-PLANTS2012, 2012年, :P-572012 · MISC
• In-situ Infrared Spectroscopy of Plasma Induced Surface Reactions M. Shinohara; K. Hara; Y. Takami; Y. Takaki; A. Fukae; K. Amano; Y. Matsuda; H. Fujiyama Proceedings of AEPSE2011, 2011年, :3452011 · MISC
• Bias Dependent Reactions of a Si(110) Substrate on Irradiation of Hydrogen Plasma Y. Takami; K. Hara; Y. Takaki; M. Shinohara; Y. Matsuda; H. Fujiyama Proceedings of Plasma Conference 2011, 2011年, :22P020-O2011 · MISC
• 1. Investigation on Reactions of Hydrogen Plasma with Si surface, using infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS) 2011年, :P572011 · MISC

• プラズマが誘起するシリコン中の欠陥生成メカニズムの解明 科学研究費補助金 2009年 - 2011年2009 · 共同研究競争的資金等の研究課題
• 大気圧プラズマが誘起する反応の解明 科学研究費補助金 2009年 - 2011年2009 · 共同研究競争的資金等の研究課題
• Analysis of reactinos induced by air-pressure plasma Grant-in-Aid for Scientific Research 2009年 - 2011年2009 · 共同研究競争的資金等の研究課題
• Analysis of defect-generation in Si induced by plasma Grant-in-Aid for Scientific Research 2009年 - 2011年2009 · 共同研究競争的資金等の研究課題

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