Hiroshima University · Graduate School of Advanced Science and Engineering · 教授

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• Extraction of interfacial thermal resistance across an organic/semiconductor interface using optical-interference contactless thermometry, APPLIED PHYSICS EXPRESS, 17巻, 3号, pp. 036502-1-036502-4, 202403012024 · 学術論文（★は代表的な論文）
• Development of a real-time temperature measurement technique for SiC wafer during ultra-rapid thermal annealing based on optical-interference contactless thermometry (OICT), JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 62巻, SC号, pp. SC1075-1-SC1075- 8, 202304012023 · 学術論文（★は代表的な論文）
• Growth of high-crystallinity silicon films by a combination of intermittent pulse heating and plasma-enhanced chemical vapor deposition, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 61巻, SI号, pp. SI1010-1-SI1010- 6, 202207012022 · 学術論文（★は代表的な論文）
• Investigation on electrical characteristics of TFTs fabricated with germanium films crystallized by atmospheric-pressure micro thermal plasma jet irradiation, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 61巻, SC号, pp. SC1011-1-SC1011- 6, 202205012022 · 学術論文（★は代表的な論文）

• 研究成果展開事業 大学・エコシステム推進型 スタートアップ・エコシステム形成支援, 大気圧熱プラズマジェットエッチング装置の実用化, 2022年, 2022年2022 · 競争的資金等の採択状況
• 科学研究費補助金 基盤研究（B）, 光学干渉非接触温度計測法によるデバイス自己発熱過程のイメージング技術に関する研究, 2022年, 2027年2022 · 競争的資金等の採択状況
• 科学研究費助成事業(挑戦的研究(萌芽)), 集積化MEMS技術を応用した極微小大気圧熱プラズマジェット生成技術の研究, 2020年, 2022年2020 · 競争的資金等の採択状況
• 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム（A-STEP）産学共同【育成型】, 大気圧プラズマジェットによる超高精度熱処理技術プラットフォームの構築, 2020年12月01日, 2022年03月31日2020 · 競争的資金等の採択状況

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