Kanazawa Institute of Technology · Faculty of Bioscience and Chemistry · 教授

Research keywordssputtered thin films・hard coating adhesion・nanoindentation tests・reactive sputtering・titanium nitride films・thin film hardness

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• スパッタリング法によるカーボンナノフレークの形成
• スパッタリング成膜における薄膜構造制御
• Mechanisms of the structural modification of Ti films by pulsed direct current and inductively coupled plasma-assisted pulsed direct current sputtering
• 高周波プラズマ支援スパッタリング法によるインジウム-スズ酸化物（ITO）薄膜の構造および物性制御

• 金属/誘電体薄膜界面の表面プラズモン共鳴現象の感性化学センサへの応用
• 表面プラズモン共鳴現象を用いたエレクトロニックノーズシステムの機能設計と構築
• フッ化・硫化物薄膜スパッタリング堆積におけるアニオン欠陥形成の機構解明とその抑制
• 多層薄膜への超微小圧子押し込み/引き抜き過程におけるエネルギー散逸の物理的評価

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