Kansai University · Faculty of Science and Engineering

Research keywordsneutral beam processing・semiconductor etching・superconducting resonators・nanopillar structures・surface oxidation・GaN processing

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• High efficiency 100-nm-sized InGaN/GaN active region fabricated by neutral-beam-etching and GaN regrowth for directional micro-LED2019 · 2019 COMPOUND SEMICONDUCTOR WEEK (CSW) 2019年
• Radiative carrier recombination process in GaAs ND fabricated by bio-template and neutral beam etching embedded by AlGaAs2016 · Proceedings of the 17th Int. Symo. on Advanced Fluid Information 16 - 17 2016年12月
• Photoluminescence study of quantum levels in GaAs/AlGaAs quantum nanodisks fabricated by bio-template and neutral beam etching2015 · The 2015 E-MRS Spring meeting 2015年5月
• Light emission from GaAs/AlGaAs nanopillars fabricated by neutral beam etching and bio-template2015 · The 2015 E-MRS Spring meeting 2015年5月

• 低電流密度・高輝度赤色マイクロLED加工のためのAlGaInP加工特性に関する研究2024 · 研究課題/領域番号： 24K22948 2024年7月 - 2026年3月
• 無欠陥ナノ周期構造によるフォノン場制御を用いた高移動度半導体素子2020 · 研究課題/領域番号： 20H05649 2020年8月 - 2025年3月

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