Kyoto Institute of Technology · Division of Electrical and Electronic Engineering · 教授

Research keywordsPlasma science and technology・微小重力環境科学・微粒子プラズマ物理・プラズマで拓く先端テクノロジー・プラズマ物性工学・プラズマ科学・工学・プラズマプロセス・プラズマエレクトロニクス・Plasma science

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• Temperature Measurement of Coulomb Crystal in Complex Plasmas
• Interaction between charged particles demonstrated in microgravity experiments of dusty plasmas
• Two-dimensional melting in a Coulomb crystal of dusty plasmas
• Measurement of Ion Density and Electron Temperature by Double-Probe Method to Study Critical Phenomena in Dusty Plasmas

• 微粒子プラズマの計測と解析・制御
• マイクロプラズマスラスターの研究開発
• material process using plasmas
• 次世代半導体プラズマエッチングプロセスのための遷移金属炭化反応の解明と制御

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