Kyoto University of Advanced Science · Faculty of Engineering · 教授

Research keywords電子顕微鏡内でのナノ力学実験，薄膜の機械信頼性，自己伝播発熱多層膜，瞬間接合，発熱ナノ粒子・発熱ナノ粒子・瞬間接合・自己伝播発熱多層膜・薄膜の機械信頼性・電子顕微鏡内のナノ力学実験

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• Uniaxial tensile and shear deformation tests of gold-tin eutectic solder film
• InN films deposited by rf reactive sputtering in pure nitrogen gas
• 合金ターゲットを用いたスパッタ法によるZrCuNiAl金属ガラス薄膜の作製
• Ti-Ni shape memory alloy film-actuated microstructures for a MEMS probe card

• SMA薄膜を用いたAFMツインプローブの開発とナノリソグラフィへの応用
• Siナノドット配列によるMEMS素子の高強度化とフェイルセーフひずみセンサの提案
• 多層金属微粒子の製造実現と新機能創発への挑戦的研究
• 微小ヒンジ構造の高精細加工に基づく薄膜物性評価試験機の開発

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