Nagasaki University · Faculty of Engineering / Graduate School of Integrated Science and Technology

Research keywordssputtering deposition・mixed-powder targets・thin-film fabrication・transparent conductive oxides・ZnO thin films・heat mirrors・composition-gradient films

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• Crystal Al-Doped ZnO Thin-Film Preparation by Sputtering Deposition using a Mixed-Powder Target Takahiko Satake,Tamiko Ohshima,Shin ichi Aoqui,Hiroharu Kawasaki International Journal of Recent Development in Engineering and Technology 13巻3号1頁-7頁 2024年03月10日2024
• Crystal Al-Doped ZnO Thin-Film Preparation by Sputtering Deposition using a Mixed-Powder Target Takahiko Satake,Tamiko Ohshima,Shin ichi Aoqui,Hiroharu Kawasaki International Journal of Recent Development in Engineering and Technology 13巻3号1頁-7頁 2024年03月10日2024
• Sputtering Deposition With Low Cost Multi-Element Powder Targets Tamiko Ohshima IEEE Open Journal of Nanotechnology 4巻172頁-180頁 2023年10月27日2023
• Sputtering Deposition With Low Cost Multi-Element Powder Targets Tamiko Ohshima IEEE Open Journal of Nanotechnology 4巻172頁-180頁 2023年10月27日2023

• 粉体スパッタリングによる極微量ドーピング機能性薄膜の開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2023年04月 - 2026年03月2023
• NiCO3とのヘテロ接合によるグラフェンTFTの高移動度と高オンオフ比の実現 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2021年04月01日 - 2024年03月31日2021
• 新材料開発に適用可能な粉体スパッタリングプロセスの改善 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2020年04月01日 - 2023年03月31日2020
• 粉体ターゲットのコントロールによるスパッタリング成膜の高度化 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2017年04月01日 - 2020年03月31日2017

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