Nagoya Institute of Technology · Department of Applied Physics · 准教授

Research keywordsプラズマ

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• Control of Nonreciprocal Directional Dichroism in Bi2CuO4 Using Electric and Magnetic Fields of an Intense Terahertz Pulse2025 · PHYSICAL REVIEW LETTERS. 研究成果 : ジャーナルへの寄稿 › 記事
• Properties of CrN/TiN Multilayer Films With Nanoscale Layer Thickness2023 · IEEE Transactions on Plasma Science. 51 , 2 , p. 327-332 6 p. 研究成果 : ジャーナルへの寄稿 › 記事 › 査読 Titanium 100% Multilayer Film 100% Nitride Compound 100% Young's Modulus 25% Film 12% 1 リンクは新しいタブで開きます 被引用数 (Scopus)
• Properties of Multilayered CrN/VN Films Prepared Using a Hybrid System of High-Power Impulse Magnetron Sputtering and Pulsed Magnetron Sputtering2023 · IEEE Transactions on Plasma Science. 51 , 2 , p. 320-326 7 p. 研究成果 : ジャーナルへの寄稿 › 記事 › 査読 Vanadium 100% Magnetron Sputtering 100% Nitride Compound 100% High Power Impulse Magnetron Sputtering 100% Chromium 100% 3 リンクは新しいタブで開きます 被引用数 (Scopus)
• Vanadium oxide films synthesized via reactive HiPIMS combined with multi pulse magnetron sputtering2023

• プロセス向け低圧放電プラズマ装置の設計
• マルチパルスプラズマを用いた高効率で持続可能なスパッタ方式による機能性材料の作成
• 高密度パルスプラズマイオン注入法による機能性ハ－ドコ－ティング材料の作製
• 高密度パルス放電プラズマを用いた多目的イオンプロセス装置の開発

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