Osaka University · Faculty of Engineering / Graduate School of Engineering · 教授

Research keywords物理化学加工・超精密加工・Physical and Chemical Machining Process・Ultra Precision Machining・Optics・Optoelectronics・Etching・(microfabrication)

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• Background-Free Intensity Autocorrelation for Femtosecond X-Ray Pulses2026
• Damage-Free Dicing of SiC Substrate Using High-Pressure SF6 Plasma: The Time Dependence of Processed Groove Profiles2026
• {Nanofocused attosecond hard X-ray free-electron laser with intensity exceeding $10^{19}$ W/cm$^2$2025 · Optica 2025年1月21日 研究論文（学術雑誌）
• X-ray imaging/microscopy developments using advanced Kirkpatrick–Baez mirrors2025 · X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods VII p. 16-16 2025年9月19日 研究論文（国際会議プロシーディングス）

• 触媒表面基準エッチング法における触媒パッド高度化と精密光学デバイスへの展開2020
• プラズマを用いた多電極全面一括型数値制御加工法の開発2014
• 小隙スリット電極による高密度大気圧プラズマの生成と高能率マスクレス溝加工への応用
• ラジカル反応を利用したセラミックス材料形状加工装置の開発-ラジカル流解析による加工形状の解析-

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