Osaka University · Faculty of Engineering / Graduate School of Engineering · 助教

Research keywords超精密加工・プラズマ援用研磨・難加工材料・ダイヤモンド・表面改質

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• Plasma-assisted polishing with self-limiting surface modification for sub-nanometer finishing of AlN ceramics2026 · Ceramics International Vol. 52 p. 14883-14898 2026年2月 研究論文（学術雑誌）
• Physical properties and polishing characteristics of laser induced heat affected zone on diamond surfaces2026 · Diamond and Related Materials Vol. 165 p. 113590-113590 2026年4月 研究論文（学術雑誌）
• Mechanism-guided control of high-spatial-frequency roughness in small-diameter plasma jet machining by suppressing near-surface vortex-induced transport2026 · International Journal of Machine Tools and Manufacture Vol. 219 2026年5月 研究論文（学術雑誌）
• High-efficiency modification mechanism of GaN(0001) in plasma-assisted polishing using hydrogen plasma2025 · CIRP Annals - Manufacturing Technology Vol. 74 No. 1 p. 447-451 2025年4月 研究論文（学術雑誌）

• プラズマ援用研磨プロセスによる単結晶GaN基板の高能率無歪加工
• プラズマナノ製造プロセスによる単結晶SiCウエハの高能率ダメージフリー製造
• プラズマを援用した単結晶GaNウエハの高能率ダメージフリードライ研磨プロセスの開発
• 大気圧プラズマを用いた硬脆難加工材料のナノ製造プロセスの開発

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