Osaka University · Faculty of Engineering / Graduate School of Engineering · 教授

Research keywords表面科学・半導体プロセス・界面計測・加工学・エッチング

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• Detection of Photoelectrons Emitted from Wet-Processed Si Trench Bottoms2026 · THE JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C Vol. 130 No. 1 p. 728-735 2026年1月8日 研究論文（学術雑誌）
• Measurement of electrical characteristics of Ge-based diodes with thermal GeO 2 films exposed to controlled humidity conditions2025 · JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Vol. 137 No. 15 p. 155304-1-155304-7 2025年4月16日 研究論文（学術雑誌）
• First-principles simulations of scanning tunneling microscopy images exhibiting anomalous dot patterns on armchair-edged graphene nanoribbons2024 · PHYSICAL REVIEW RESEARCH Vol. 6 No. 1 p. 013252-1-013252-9 2024年3月7日 研究論文（学術雑誌）
• Nanocarbon-assisted chemical etching of Ge(100) in H 2 O 22024 · ELECTROCHEMISTRY COMMUNICATIONS Vol. 163 p. 107735-1-107735-5 2024年4月29日 研究論文（学術雑誌）

• Ｓｉ原子層リボンのフォトニクス：自律型ウェットナノ加工が拓く光電集積素子の未来
• （財）天野工業技術研究所
• （財）山田科学振興財団
• 独自の超平坦ＳｉＣ表面上でのＳｉ原子層エッチングによるグラフェンの低温形成

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