Osaka University · Faculty of Engineering / Graduate School of Engineering · 教授

Research keywords超精密加工・物理化学加工・X線光学・中性子光学・表面改質

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• Review of physicochemical-assisted nanomanufacturing processes for wide-bandgap semiconductor wafers2025 · International Journal of Machine Tools and Manufacture Vol. 211 p. 104321-104321 2025年10月 研究論文（学術雑誌）
• High-efficiency modification mechanism of GaN(0001) in plasma-assisted polishing using hydrogen plasma2025 · CIRP Annals Vol. 74 No. 1 p. 447-451 2025年 研究論文（学術雑誌）
• 多層膜スーパーミラーを用いたWolter I 型中性子磁気顕微鏡の光学設計2024 · JAEA Research Vol. 2024 No. 006 p. 1-15 2024年10月 研究論文（大学，研究機関等紀要）
• プラズマおよび電気化学プロセスを援用したナノ精度の加工技術2024 · クリーンテクノロジー Vol. 34 No. 9 p. 54-59 2024年9月

• 大気開放プラズマを用いた無歪高能率ナノ精度形状創成プロセスの開発
• 大気圧プラズマを利用したラジカル反応による形状加工装置の開発
• 大気圧プラズマを利用したラジカル反応加工に関する研究-反応素過程の理論的解明-
• 金型用CVD-SiC材のオールドライ高能率ダメージフリー形状創成・表面仕上げプロセスの開発

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