Shizuoka University · Faculty of Engineering · 准教授

Research keywords反応モデル・反応速度論・化学気相成長法・電気電子・機械・材料工学・Automatic・Modelling・Calculation

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• The effects of gas-phase additives NH3, NO, and NO2 on SiH4/O2 chemical vapor deposition
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• An Automatic Modeling System of the Reaction Mechanisms for Chemical Vapor Deposition Processes Using Real-Coded Genetic Algorithms
• Al/Al2O3/Cu2Se/Au構造素子の非対称ヒステリシスI-V特性

• 反応プロセスを対象とした自動研究開発システムの開発
• 薄膜形成プロセスにおけるコンピュータ支援反応系設計法の確立
• 反応プロセスを対象とした自動研究開発システムの開発
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