Shizuoka University · Graduate School of Photonics and Medical Engineering · 教授

Research keywordsデバイスモデリング・エレクトレットデバイス・マイクロセンサ・マイクロアクチュエータ

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• 化学吸着単分子膜を利用したマイクロレンズアレイ製作法
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• A Bistable Comb-Drive Electrostatic Actuator Biased by the Built-In Potential of Potassium Ion Electret
• AFM picking-up manipulation of the metaphase chromosome fragment by using the tweezers-type probe

• High-Q・高帯電MEMS共振子を同調回路に用いた標準電波の電波発電技術
• アルカリイオン混入シリコン酸化膜を用いた超小型振動発電素子の開発
• アルカリイオンナノエレクトレット帯電膜の長期信頼性に関する実験的調査
• カリウムイオンエレクトレット膜の長期信頼性評価と実デバイスによる検証

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