Tohoku Gakuin University · Faculty of Engineering / Graduate School of Engineering · 教授

Research keywordsナノ構造・半導体デバイス・太陽電池・結晶工学・結晶欠陥・センサ・薄膜トランジスタ

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• Performance of four-terminal low-temperature polycrystalline-silicon thin-film transistors and their application in CMOS inverters on glass substrates
• Low-Temperature Polycrystalline-Silicon Thin-Film Transistors Fabricated by Continuous-Wave Laser Lateral Crystallization and Metal/Hafnium Oxide Gate Stack on Nonalkaline Glass Substrate
• NL10 DEFECTS FORMED IN CZOCHRALSKI SILICON-CRYSTALS
• Gettering in Large-Grained Thin Polycrystalline Silicon Films on Glass Substrate

• グリーン・インテリジェントディスプレイの実現に向けた低温多結晶ゲルマニウム薄膜トランジスタの開発
• ガラス上の自己整合４端子ｐｏｌｙ-Ⅳ族ＴＦＴによる高性能ハイブリッドＣＭＯＳ
• フレキシブルガラス上への微結晶シリコン薄膜の成長とダブルゲート薄膜トランジスタへの応用
• 四端子駆動自己整合ダブルゲート多結晶Si-TFTによる革新的フレキシブルデバイス

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