Tohoku University · Faculty of Engineering / Graduate School of Engineering · 教授

Research keywords低温接合・光デバイス・テンプレートストリッピング・MEMS・付加加工・MEMSパッケージング・三次元集積・三次元実装

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• Three-dimensional integrated circuits with NFET and PFET on separate layers fabricated by low temperature Au/SiO2 hybrid bondingM. Goto, K. Hagiwara, Y. Iguchi, H. Ohtake, T. Saraya, E. Higurashi, H. Toshiyoshi, T. Hiramoto
• Surface activated wafer bonding of LiNbO3 and SiO2/Si for LNOI on SiRyo Takigawa, Eiji Higurashi, Tanemasa Asano
• Micro-encoder based on higher-order diffracted light interferenceEiji Higurashi, Renshi Sawada
• Hydrogen Radical Treatment for Indium Surface Oxide Removal and Re-oxidation BehaviourKohta Furuyama, Kazuyuki Yamanaka, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga

• 光マイクロマシンを用いた計測システム岩岡 秀人, 日暮 栄治
• 大気中常温接合の新手法須賀 唯知, 島津 武仁, 日暮 栄治
• 接合界面付加加工による革新的異種材料低温集積技術の開発日暮 栄治
• 水素プラズマを用いた金錫バンプ形成プロセス日暮 栄治

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