Tohoku University · Center for Microelectronic Systems · 教授

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• WAFER-TO-WAFER TRANSPORTABLE GOLD PARTICLE PLUG FOR SPOT VACUUM SEALING OF MEMSToshinori Ogashiwa, Kentaro Totsu, Mitsutomo Nishizawa, Hiroyuki Ishida, Kenichi Inoue, Yuya Sasaki, Masayuki Miyairi, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi
• 125 mu m diameter fiber-optic pressure sensor system using spectrometer- based white light interferometry with high-speed wavelength trackingK Totsu, Y Haga, T Matsunaga, M Esashi
• Ultra-miniature fiber-optic pressure sensor using white light interferometryK Totsu, Y Haga, M Esashi
• Simulation analysis of a miniaturized electron optics of the Massively Parallel Electron Beam Direct-Write (MPEBDW) for Multi-column systemAkira Kojima, Naokatsu Ikegami, Hiroshi Miyaguchi, Takashi Yoshida, Ryutaro Suda, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi, Nobuyoshi Koshida

• マイクロマシニングによる高周波MEMSデバイス江刺 正喜, 小野 崇人, 田中 秀治, 戸津 健太郎
• MEMS技術を用いた高密度・高精度触覚デバイスの開発曽根 順治, 田中 秀治, 長谷川 晶一, 星 陽一, 戸津 健太郎, 森山 雅昭, 平野 栄樹, 吉田 慎哉, 三田 吉郎, 足立 丈宗, 松本 康義, 堀川 祐樹, 猪俣 泰気, 山田 優希, 沓澤 翔吾, 田中 康基, 西野 仁, 浅野 翔, 金子 亮介
• 極細径光ファイバ先端駆動形2次元マイクロ光スキャナ戸津 健太郎, 江刺 正喜
• 環境発電ＩｏＴデバイス適用への磁歪・圧電界面ドメイン増殖型高感度スマート複合材料古屋 泰文, 千葉 晶彦, 成田 史生, 和田 智志, 中尾 航, 戸津 健太郎, 丹波 澄雄

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