Tokai University · Graduate School of Science and Engineering · 教授

Research keywords薄膜・デバイス・ダイヤモンド・半導体

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• DOPING OF DIAMOND
• POLYCRYSTALLINE DIAMOND HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON P-N HETEROJUNCTION
• Low threshold field emission from amorphous carbon films grown by electrochemical deposition
• Amorphous carbon and carbon nitride films synthesized by electrolysis of nitrogen-containing liquid

• ダイヤモンドライク-カーボン及びCNXの液相合成
• 液相中でのダイヤモンドライクカーボン薄膜の堆積と不純物制御
• 気相合成ダイヤモンド薄膜の電子デバイス化に関する研究
• 電気化学プロセスによる窒化カーボンの液相合成とLow-k層間絶縁膜への応用

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