Tokushima University · Graduate School of Sciences and Technology for Innovation · 助教

Research keywords半導体プラズマモデリング・大気圧非熱平衡プラズマ・薄膜系光触媒・Interaction・Plasma-surface・UV-LED光触媒反応・プラズマエッチダメージ・プラズマ表面相互作用

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• GaN Plasma Etch Damage
• DBDプラズマデバイスのバイオ・表面処理応用に関する研究
• 非平衡半導体プラズマ表面反応モデリングの開発研究
• プラズマJETデバイスの医療・バイオ・食品分野への応用に関する研究

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