Institute of Science Tokyo · School of Engineering · 准教授

Research keywordsthrough-silicon via metrology・semiconductor inspection・phononic nanostructures・thermal transport engineering・flat optics microactuation・structured deep-ultraviolet illumination・laser-induced graphene・nanometer-resolution inspection

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• Through-silicon vias (TSV) critical dimension (CD) characterization by shadow image modeling and analysis2026 · Optics & Laser Technology 2026年9月
• Rapid Electro‐Thermal Micro‐Actuation of Flat Optics Enabled by Laser‐Induced Graphene on Colorless Polyimide Substrates2025 · Advanced Optical Materials 2500498 2025年4月
• Scalable Thermal Engineering via Femtosecond Laser‐Direct‐Written Phononic Nanostructures2025 · Advanced Functional Materials 2025年12月
• Programmable structured DUV illumination by coherent harmonic generation at crystalline solids for nanometer-resolution inspection of periodic samples2025 · PhotoniX 6 ( 1 ) 2025年11月

• フェムト秒レーザ誘起周期構造による薄膜熱電変換材料の高速加工技術の開発2025 · 2025年4月 - 2026年3月
• 極超音波トポロジカルフォノニクスの革新に向けた電気‐機械量子インターフェースの開発2025 · 2025年4月 - 2027年3月
• 多機能フォノニックナノワイヤネットワーク創成のための学理構築2025 · 研究課題/領域番号： 25K00035 2025年2月 - 2028年3月
• トポロジカルフォノニック共振器を用いた高Q値光変調器の開発2025 · 2025年1月 - 2026年12月

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