Toyama Prefectural University · Faculty of Information Engineering · 准教授

Research keywordsプローブ校正・ナノメトロロジー・マイクロCMM・走査型プローブ顕微鏡・ナノ加工・ナノ計測

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• Determination of the origin position for an angle sensor with a femtosecond laser
• Design and Development of Oblique‑Incident Interferometer for Form Measurement of Hand‑Scraped Surfaces
• Measurement Technologies for Manufacturing
• Mode-locked laser autocollimator with an expanded measurement range

• 走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いたアトリットル堆積量制御法の開発
• タッチプローブ球形状誤差の自律補正に基づく真円度/円筒度の高精度・高効率オンマシン計測に関する研究
• アブラムソン型斜入射干渉計を用いたきさげ加工面幾何形状の自動計測に関する研究
• 回転基準球を用いたマイクロプローブ三次元形状のナノ精度その場校正に関する研究

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