The University of Tokyo · Graduate School of Engineering / Faculty of Engineering · 助教

Research keywords赤外線・双安定構造・分光・プラズモニクス・MEMS

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• “TopoMEMS varicaps” - MEMS comb-drive variable capacitors with tailored stroke-to-capacitance dependence
• MEMS Differential Pressure Sensor with Dynamic Pressure Canceler for Precision Altitude Estimation
• A bimodal "sensor chiplet" platform applied for albumin and pH multi-chemical sensing
• Nanospires Insulation Penetrator for Reliable on-Touch Electrical Connection

• スケーラブルな対称双安定MEMS座屈梁の研究
• 定温制御したプラズモニックボロメータの高度集積による超小型中赤外分光器の開発
• 集積センシングアクチュエータにおける温度フィードバックに関する技術検討
• 中赤外分光イメージングのためのMEMS可動フィルタアレイを用いた熱型受光デバイス

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