The University of Tokyo · Institute of Industrial Science · 教授

Research keywords超精密加工機・ナノ加工・加工状態認識・空気静圧軸受・精密計測

Research fields加工学、生産工学

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• 自律分散システムを用いた柔軟な生産スケジューリングシステムの構築
• A newly developed nano-pattern generator equipped with an on-machine measuring function
• A newly developed STM-based coordinate measuring machine
• Integrated in-process chatter monitoring and automatic suppression with adaptive pitch control in parallel turning

• Ultraprecision positioning table system
• センサ機能付加切削工具を用いた超精密切削加工の能動制御に関する研究
• 自由曲面上へのナノ構造創成の実現とそれを用いた機能性パターンの最適化
• コンパクト三次元形状計測システムCompact Nano-Profilerの開発

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