The University of Tokyo · Graduate School of Engineering / Faculty of Engineering · 准教授

Research keywordsoptical metrology・precision sensing・microstructured surfaces・plasmonic sensing・laser nano removal・smart manufacturing

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• ベッセルビームの光放射圧ポテンシャルを用いた マイクロスケールAdditive Manufacturingの加工原理検証
• Foreword to the Special Issue on Micro- and Nano-Metrology in Japan (I)
• Study on chemical interaction analysis of reactive fullerenol molecules in Cu-CMP using high-sensitive Raman spectroscopy
• Radial mode number identification on whispering gallery mode resonances for diameter measurement of microsphere

• 細径光ファイバ直径の高速インプロセス計測技術の開発
• フェムトパルストレインビームを用いたコヒーレント振動制御による原子加工
• デジタルナノパターニング技術開拓のための水酸化フラーレン分子加工原理に関する研究
• レーザトラッピングプローブを用いたナノ3次元座標計測に関する研究

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