Yamagata University · Graduate School of Science and Engineering

Research keywordsMEMS actuators・shape memory alloys・tactile displays・micro-robotic medical tools・thin-film annealing・TiN/AlN multilayers・thermal actuation・microfabrication

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• ダイヤモンド複合PEO固体高分子電解質とWC-Co基超微粒超硬合金の電解反応，精密工学会学術講演会講演論文集，2024A(0) 168-169，2024年08月2024 · 中村 太翼, 鈴木 庸久, 藤井 達也, 野村 光由, 峯田 貴
• Adjustment Method of MEMS Dual-Cantilever Deflection Using Plastic Deformation of Al and Ni Thin Film by Thermal Annealing，ELECTRONICS，12(14) ，2023年07月2023 · Tanaka, M; Iijima, Y; Masuda, Y; Sato, T; Mineta, T
• Fabrication of Shearing-Motion-Type Tactile Display Mechanism Using SMA Thick-Film Actuators and Coil Springs Array，IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING，18(7) 1220-1225，2023年07月2023 · Sato, H; Maruyama, A; Saito, R; Mineta, T
• 蒸発温度差を用いたフラッシュ蒸着によるTiN/AlN多層膜形成法の基礎的検討，精密工学会学術講演会講演論文集，2023A(0) 670-671，2023年08月2023 · 佐藤 颯哉, 鈴木 庸久, 藤井 達也, 野村 光由, 関根 崇, 菅原 靖, 杉山 重彰, 峯田 貴

• 基盤研究(C)，2025年04月 ～ 2026年03月，多段デュアル構造化したサーマルAFMプローブの極微小有機物及び表面分析への応用2025
• 基盤研究(B)，2024年04月 ～ 2025年03月，超高濃度CNT複合固体電解質による固／固界面電解研磨機構の解明と鏡面加工法の開発2024
• 基盤研究(B)，2024年04月 ～ 2027年03月，形状記憶膜/有機半導体ハイブリッド型の高出力フレキシブル触覚ディスプレイ開発2024
• 基盤研究(C)，2024年04月 ～ 2026年03月，空気圧/形状記憶合金厚膜デバイスによる広周波数域を融合した触覚提示素子の開発2024

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