愛知工業大学 · 工学部 / 工学研究科 · 教授

研究キーワード微細加工・エッチング・表面処理・生産加工

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• Siウエットエッチングの グリーンプロセス研究
• 工具刃先の微細平滑研磨によるスローアゥエイ工具の寿命向上技術
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